سرامیک آلومینا با خلوص بالا با مقاومت حجمی 10^4 اهم*سانتی‌متر برای کاربردهای نیمه‌هادی

سرامیک آلومینیوم با طهارت بالا با مقاومت حجم 10 4 Ohm * cm برای کاربردهای نیمه هادی

این سری از قطعات سرامیکی آلومینیوم برای نیمه هادی ها با استفاده از مواد 99.6٪ Al2O3 با خلوص فوق العاده بالا از طریق کاسینگ نوار دقیق و فرآیندهای سینتر کردن با دمای بالا تولید می شوند.محصولات عایق بسیار خوبی دارند، مقاومت در برابر خوردگی و ثبات ابعاد، برآورده کردن الزامات تمیز بودن استاندارد SEMI F47.

کاربردهای اولیه نیمه هادی

• تولید وافره: قطعات سرامیکی ماشین های حکاکی، قایق های پخش

• بسته بندی و آزمایش: زیربنای کارت های سنجش، سوکت های آزمایش

• اجزای تجهیزات: روبات های انجام دهنده پایان

• سیستم های خلاء: پایه های چک الکترواستاتیک

• بازرسی نوری: راهنمای سرامیکی دستگاه لیتوگرافی

مزایای محصول

✓ بسیار تمیز: محتوای یون های فلزی <0.1ppm
✓ ابعاد دقیق: تحمل ±0.05mm/100mm
✓ مقاومت پلاسما: سرعت حکاکی <0.1μm/h
✓ انتشار گاز کم: TML<0.1% CVCM<0.01%
✓ قابلیت اطمینان بالا: از 1000 چرخه حرارتی عبور می کند

مشخصات فنی

فرآیند تولید نیمه هادی

1. آماده سازی مواد:

   • پودر Al2O3 درجه نانو (D50≤0.5μm)

   • آسیاب گلوله ای با خالصیت بالا (کمک کننده های سینتر کردن Y2O3-MgO)

2. فرآیند شکل دادن:

   • تخته ریخته (زخم 0.1-5 میلی متر)

   • فشرده سازی ایزواستاتیک (200MPa)

3. کنترل سینتر کردن:

   • سینتر کردن چند مرحله ای در اتمسفر (1600°C/H2)

   • بعد از درمان HIP (1500°C/150MPa)

4. ماشینکاری دقیق:

   • پردازش لیزر (±5μm)

   • حفاری فوق صوتی (نسبت ابعاد 10:1)

5. تمیز کردن و بازرسی:

   • تمیز کردن مگاسونیک (کلاس ۱ اتاق های تمیز)

   • آزمایش ذرات SEMI F47

دستورالعمل های استفاده

ذخیره سازی: بسته بندی تمیز کلاس 100
️ محیط نصب: 23±1°C RH45±5%
️ تمیز کردن: فقط حلال های نیمه هادی
️ استفاده: از تماس مستقیم با سطوح کاربردی اجتناب کنید

خدمات نیمه هادی

• بررسی تمیز: گزارش آزمایش VDA19

• تحلیل خرابی: میکروآنالیز SEM/EDS

• توسعه سفارشی: طراحی مشترک DFM

سوالات عمومی

س: چگونه تمیز بودن سطح تماس وافره را تضمین کنیم؟
A: سه گانه محافظت:
1 فعال سازی سطح پلاسما
2 بسته بندی خلاء + ذخیره N2
3 تمیز کردن هوای یونیزه شده قبل از نصب

س: عملکرد در پلاسمای فلورین؟
A: نسخه ی درمان شده ی ویژه:
• سرعت حکاکی <0.05μm/h
• لایه غیرفعال سازی AlF3
• 3 برابر طول عمر بیشتر

س: حداکثر اندازه قابل پردازش؟
A: 200×200mm استاندارد، فرآیند ویژه تا 400×400mm.