عملکرد عایق بندی پایه های سرامیکی آلومینیوم برای تجهیزات اندازه گیری دقیق و بازرسی صنعتی

عملکرد عایق پایه های سرامیکی آلومینا برای تجهیزات اندازه گیری دقیق و بازرسی صنعتی

این پایه های پشتیبانی سرامیکی آلومینا با استفاده از مواد Al₂O₃ با خلوص بالا 99.6٪ تولید می شوند و به طور خاص برای تجهیزات نیمه هادی، نوری و اندازه گیری دقیق طراحی شده اند. با داشتن صافی فوق العاده بالا 0.01 میلی متر بر متر و ضریب انبساط حرارتی 7.2 × 10⁻⁶ / ℃، محصولات پایداری ابعادی استثنایی را در دماهای شدید (-60 ℃ ~ 1500 ℃) و محیط های خلاء (≤ 10⁻⁸Pa) حفظ می کنند.

زمینه های کاربردی اصلی

• تجهیزات نیمه هادی: مراحل ویفر لیتوگرافی، پایه های محفظه راکتور اچ

• اپتیک دقیق: پلتفرم های مرجع تداخل سنج لیزری، پایه های آینه تلسکوپ فضایی

• ابزارهای تحلیلی: مراحل نمونه میکروسکوپ الکترونی، پشتیبانی منبع یون طیف سنج جرمی

• بازرسی صنعتی: پایه های دستگاه CMM، صفحه گردان تستر گردی

• انرژی نو: پشتیبانی از پشته های سلول سوختی، حامل های تجهیزات پوشش فتوولتائیک

ماتریس مزیت عملکرد

مشخصات فنی

فرآیند تولید دقیق

1. پردازش پودر: پودر با خلوص بالا 0.1 میکرومتر با گرانولاسیون اسپری

2. فرآیند شکل دهی: پرس ایزواستاتیک (300MPa) همراه با ماشینکاری سبز CNC

3. فناوری تف جوشی: تف جوشی گرادیان در 1700 ℃ در اتمسفر هیدروژن

4. ماشینکاری دقیق:

   • سنگ زنی 5 محور (± 0.002 میلی متر)

   • پولیش مغناطیسی (دقت سطح λ / 20 @ 632.8nm)

5. پردازش اتاق تمیز: مونتاژ در اتاق تمیز کلاس 100 تکمیل شد

6. بازرسی کامل: تداخل سنج لیزری + بازرسی ابعادی کامل CMM

دستورالعمل های نصب

• الزامات نصب:
  ✓ از آچار گشتاور استفاده کنید (مقدار توصیه شده 1.5 ± 0.2N·m)
  ✓ از ابزارهای اتاق تمیز اختصاصی استفاده کنید
  ✓ تنظیم اولیه تطبیق حرارتی توصیه می شود (گرادیان دما <2 ℃ / min)

• محدودیت های محیطی:
  ✗ از تماس با اسید هیدروفلوئوریک خودداری کنید
  ✗ از شوک های حرارتی > 200 ℃ / min خودداری کنید
  ✗ برای محیط های اکسید کننده مداوم > 1600 ℃ مناسب نیست

تعهد خدمات

• پشتیبانی فنی: تجزیه و تحلیل تنش FEA رایگان

• پاسخ سریع: خدمات تسریع شده 72 ساعته

• مدیریت قابلیت ردیابی: 10 سال سوابق تولید کامل

• پشتیبانی گواهینامه: اسناد صدور گواهینامه SEMI / FDA / ISO ارائه شده است

سؤالات متداول

س: چگونه می توان تطبیق حرارتی با اجزای کاربید سیلیکون را تضمین کرد؟
پاسخ: طراحی انتقال گرادیان CTE موجود است (قابل تنظیم 7.2-4.5 × 10⁻⁶ / ℃)

س: حداکثر ابعاد قابل پردازش؟
پاسخ: محدودیت فنی فعلی 500 × 500 × 100 میلی متر (ابزارآلات ویژه مورد نیاز است)

س: آیا اصلاح رسانا پشتیبانی می شود؟
پاسخ: نسخه های ضد استاتیک قابل تنظیم با مقاومت سطح 10⁴-10¹⁰Ω

س: چگونه تمیزی سطح ویفر تضمین می شود؟
پاسخ: استریل کردن نهایی با VHP (پراکسید هیدروژن تبخیر شده)