عملکرد عایق بندی پایه های سرامیکی آلومینیوم برای تجهیزات اندازه گیری دقیق و بازرسی صنعتی

عملکرد عایق پایه های سرامیکی آلومینا برای تجهیزات اندازه گیری دقیق و بازرسی صنعتی

این پایه‌های پشتیبانی سرامیکی آلومینا با استفاده از مواد 99.6 درصد با خلوص بالا Al2O3 تولید می‌شوند که به طور خاص برای تجهیزات اندازه‌گیری نیمه‌رسانا، نوری و دقیق طراحی شده‌اند. این محصولات دارای مسطح بودن فوق العاده بالا 0.01mm/m و ضریب انبساط حرارتی 7.2×10-6/℃ هستند، این محصولات ثبات ابعادی استثنایی را در دماهای شدید (60-~1500 درجه سانتیگراد) و محیط های خلاء (≤10-8Pa) حفظ می کنند.

فیلدهای برنامه اصلی

• تجهیزات نیمه هادی: مراحل ویفر لیتوگرافی، پایه های محفظه راکتور اچینگ

• اپتیک دقیق: سکوهای مرجع تداخل سنج لیزری، پایه های آینه تلسکوپ فضایی

• ابزارهای تحلیلی: مراحل نمونه میکروسکوپ الکترونی، پشتیبانی از منبع یونی طیف سنج جرمی

• بازرسی صنعتی: پایه های دستگاه CMM، میزهای گردی سنج

• انرژی نو: پشتیبانی پشته پیل سوختی، حامل تجهیزات پوشش فتوولتائیک

ماتریس مزیت عملکرد

مشخصات فنی

فرآیند ساخت دقیق

1. پردازش پودر: پودر با خلوص بالا 0.1μm با دانه بندی اسپری

2. فرآیند شکل گیری: پرس ایزواستاتیک (300MPa) همراه با ماشینکاری سبز CNC

3. فناوری زینترینگ: تف جوشی گرادیان در دمای 1700 درجه در اتمسفر هیدروژنی

4. ماشینکاری دقیق:

   • سنگ زنی 5 محوره (±0.002 میلی متر)

   • پولیش مغناطیسی (دقت سطح λ/20@632.8 نانومتر)

5. پردازش اتاق تمیز: مونتاژ در اتاق تمیز کلاس 100 تکمیل شد

6. بازرسی کامل: تداخل سنج لیزری + بازرسی کامل ابعادی CMM

دستورالعمل های نصب

• الزامات نصب:
  ✓ از آچار گشتاور استفاده کنید (مقدار توصیه شده 1.5±0.2N·m)
  ✓ از ابزارهای اختصاصی اتاق تمیز استفاده کنید
  ✓ پیش تنظیم تطبیق حرارتی توصیه شده (شیب دما <2℃/min)

• محدودیت های زیست محیطی:
  ✗ از تماس با اسید هیدروفلوریک خودداری کنید
  ✗ از شوک های حرارتی > 200 درجه در دقیقه اجتناب کنید
  ✗ برای محیط های اکسید کننده مداوم > 1600 ℃ مناسب نیست

تعهد خدمت

• پشتیبانی فنی: تجزیه و تحلیل استرس FEA رایگان

• واکنش سریع: سرویس 72 ساعته سریع

• مدیریت ردیابی: 10 سال سابقه تولید کامل

• پشتیبانی صدور گواهینامه: مدارک گواهینامه SEMI/FDA/ISO ارائه شده است

سوالات متداول

س: چگونه از تطابق حرارتی با اجزای کاربید سیلیکون اطمینان حاصل کنیم؟
A: طراحی انتقال گرادیان CTE موجود (قابل تنظیم 7.2-4.5×10-6/℃)

س: حداکثر ابعاد قابل پردازش؟
A: محدودیت فنی فعلی 500 × 500 × 100 میلی متر (ابزار ویژه مورد نیاز است)

س: آیا اصلاح رسانا پشتیبانی می شود؟
A: نسخه های آنتی استاتیک قابل تنظیم با مقاومت سطحی 104-10¹⁰Ω

س: تمیزی سطح ویفر چگونه تضمین می شود؟
A: استریل کردن نهایی با VHP (پراکسید هیدروژن تبخیر شده)