نازل های سرامیکی مقاوم در برابر دمای بالا برای دمای فرآیند 1200 درجه سانتیگراد در صنعت LED

نوزل های سرامیکی مقاوم در برابر دماهای بالا برای دمای فرآیند 1200 درجه سانتیگراد در صنعت LED

این محصول به طور خاص برای فرآیندهای تولید LED توسعه یافته است و با استفاده از 99.8٪ نیترید سیلیکون با خلوص بالا (Si3N4) از طریق سینتر کردن فشار گاز دقیق تولید می شود.با وضوح فوق العاده بالایی، مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی برای برآورده کردن الزامات سختگیرانه تجهیزات MOCVD.

کاربردهای تولید LED

• تجهیزات MOCVD: توزیع دقیق منبع MO و گاز NH3

• رشد اپیتاکسیال: تزریق گازی یکسان در اتاق های واکنش

• ساخت تراشه: سیستم های تحویل گاز محافظ

• فرآیند بسته بندی: اسپری فوسفوری

• تجهیزات آزمایش: کنترل گازی بازرسی نوری

مزایای صنعت LED

✓ پاکسازی فوق العاده بالا: محتوای یون های فلزی <1ppm
✓ مقاومت در برابر دمای بالا: مقاومت در برابر دمای فرآیند 1200 درجه سانتیگراد
✓ آلودگی گاز صفر: هیچ گونه انتشار ذرات
✓ کنترل جریان دقیق: دقت جریان ±1٪
✓ طول عمر طولانی: بیش از 5000 چرخه حرارتی را تحمل می کند

پارامترهای خاص LED

فرآیند تولید تمیز

1. آماده سازی مواد:

   • پودر نانو (D50≤0.3μm)

   • آسیاب توپ بدون گرد و غبار (کلاس ۱۰ اتاق تمیز)

2. شکل دادن و سینتر کردن:

   • فشرده سازی ایزواستاتیک (200MPa)

   • سینتر کردن بسیار تمیز (محیط کلاس 100)

3. بعد از پردازش:

   • تمیز کردن پلاسما (از آلودگی پاک کردن سطح)

   • تمیز کردن آب از طریق دی آی با استفاده از ماوراء الصوت

4. بسته بندی:

   • بسته بندی های خلاء دوگانه

   • کیسه های تمیز کلاس ۴ ایزو

دستورالعمل های استفاده

️ نصب: کلاس 100 نیاز به عملیات اتاق تمیز
️ کنترل گاز: استفاده از 99.999٪ گازهای با خلوص بالا
️ مدیریت دمای: سرعت گرمایش ≤5°C/ دقیقه
️ نگهداری: آزمایش نشت هلیوم هر 500 ساعت

خدمات تخصصی

• ضمانت تمدید شده: 18 ماه

• آزمایش تمیز: آزمایش انتشار ذرات آزاد

• پاسخ سریع: پشتیبانی فنی 12 ساعته

• بهینه سازی فرآیند: شبیه سازی میدان جریان گاز

سوالات عمومی

سوال: چگونه می توان از خلوص منبع انتقال مو اطمینان یافت؟
جواب: سه نوع تضمين:
۱- غیرفعال کردن سطح Si
بسته بندی های تمیز کلاس 100
3 تمیز کردن پلاسما قبل از نصب

سوال: دست زدن به انسداد نوزل؟
الف: توصیه می شود:
• 200W فوق صوت + تمیز کردن آب DI
• تمیز کردن میخانیکی میخ ها
• خدمات تمیز کردن حرفه ای در دسترس است

سوال: سازگاری با لایه های مختلف اپیتاکسیال؟
A: گزینه های قابل تنظیم:

• ساختارهای چند سوراخ

• طرح های اندازه سوراخ تدریجی

• پیکربندی زاویه ویژه

•